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TOPCon“關(guān)鍵先生”

2022在光伏發(fā)展史上可被稱(chēng)作“TOPcon之年”。N型技術(shù)路線(xiàn)之爭第一個(gè)回合，TOPCon在成本和成熟度方面占優(yōu)。

同時(shí)在龍頭企業(yè)的帶動(dòng)下，行業(yè)信心堅定，紛紛布局，據不完全統計，目前TOPCon全行業(yè)產(chǎn)能規劃已達* 00GW左右，即使HJT或者BC電池在未來(lái)實(shí)現反超，也能給TOPCon企業(yè)消化產(chǎn)能的時(shí)間，擺在企業(yè)面前的只有同類(lèi)競爭的此消彼長(cháng)，而無(wú)整條技術(shù)路線(xiàn)被顛覆的風(fēng)險。

TOPCon技術(shù)，由Fraunhofer提出，一道、中來(lái)等企業(yè)接力，由晶科能源推動(dòng)全面爆發(fā)，歷經(jīng)了多年時(shí)間，期間不斷調整工藝，2021年11月，晶科推出N型TOPCon技術(shù)制成的Tiger Neo組件，進(jìn)一步推動(dòng)了TOPCon電池的產(chǎn)業(yè)化。

但進(jìn)一步促使業(yè)內企業(yè)下定決心的，卻是晶科對TOPCon技術(shù)的進(jìn)一步升級。

2022年* 月1* 日，深圳市海目星激光科技集團股份吉印通 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)“海目星”)發(fā)布公告稱(chēng)，Topcon激光微損設備，收到國內首批大規模中標通知，這是海目星光伏激光及自動(dòng)化設備、技術(shù)得到市場(chǎng)認可的有力佐證。

一時(shí)間業(yè)內為之側目。海目星何許人也?在此前處于膠著(zhù)狀態(tài)的N型電池競賽中，它又起到了什么作用?

先聲奪人

海目星攻克激光硼摻雜工藝

根據公開(kāi)資料，海目星成立于200* 年，并于2020年9月在科創(chuàng )板成功上市，是集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的激光及自動(dòng)化綜合解決方案提供商。十余年來(lái)，海目星的市場(chǎng)版圖已輻射國內外，除總部深圳之外，先后在廣東江門(mén)、江蘇常州、四川成都布局基地，并在意大利設立了子公司?？蒲蟹矫?，海目星成立了集團研究院，并在常州、深圳設立激光研發(fā)中心，同時(shí)與西安交大成立了智能裝備創(chuàng )新研究院，引入了香港理工大學(xué)、哈工大等高校智囊。據海目星透露，目前已有多家電池組件廠(chǎng)商向其拋出橄欖枝，很少有這樣一家企業(yè)如此迅速引發(fā)關(guān)注且獲得高比例的市場(chǎng)份額，海目星是怎么做到的?又為什么能引發(fā)市場(chǎng)的熱情?

究其原因，是海目星攻克的一次激光硼摻雜工藝是TOPCon技術(shù)的關(guān)鍵工藝，提升效率(0.* %-0.* %)的同時(shí)，能夠有效降低成本，在TOPCon引而未發(fā)的關(guān)鍵時(shí)刻，這項技術(shù)起到了“臨門(mén)一腳”的效果，迅速引爆市場(chǎng)。

多種硼摻雜技術(shù)路線(xiàn)分析

資料顯示，TOPCon電池技術(shù)于201* 年被德國Fraunhofer研究所首次提出，其電池結構為N型硅襯底電池，背面制備一層超薄氧化硅，然后再沉積一層摻雜硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結構。TOPCon可在原有生產(chǎn)線(xiàn)吉印通 行改造升級，拉長(cháng)原有設備使用周期，在實(shí)現較高轉換效率的同時(shí)成本相對較低。

TOPCon相比異質(zhì)結主要有兩點(diǎn)優(yōu)勢：

NO.1

理論效率2* .7%比HJT理論效率27.* %更高，這也是晶科等企業(yè)選擇TOPCon技術(shù)的原因之一。

NO.2

與PERC產(chǎn)線(xiàn)設備兼容性更好，頭部電池企業(yè)無(wú)論是新上產(chǎn)線(xiàn)還是進(jìn)行改造升級都更容易，研發(fā)和生產(chǎn)人員也更容易切換到生產(chǎn)線(xiàn)上。

晶科能源表示，效率潛力是公司選擇TOPCon的原因之一，同時(shí)，TOPCon在設備投資和生產(chǎn)成本上相比于HJT更具優(yōu)勢。

TOPCon電池的制備工序包括清洗制絨、正面硼擴散、BSG去除和背面刻蝕、氧化層鈍化接觸制備、正面氧化鋁沉積、正背面氮化硅沉積、絲網(wǎng)印刷、燒結和測試分選，約12步左右。其中，氧化層鈍接結構制備為T(mén)OPCon在PERC的基礎上增加的主要工序，也是TOPCon的核心工序，工藝路線(xiàn)大致分為L(cháng)PCVD本征+磷擴(低壓力化學(xué)氣相沉積法)、PECVD原位摻雜、PVD原位摻雜(即物理氣相沉積法)。

要做TOPCon，鈍接結構制備是基礎，但要做好TOPCon，正面硼擴散是相關(guān)企業(yè)要解決的最大挑戰。

在海目星之前，硼擴散工藝采用的是硼擴散爐，根據資料顯示。硼原子半徑0.0* 2nm，磷原子半徑為0.110nm，硅原子半徑為0.11* nm，硼與硅原子差異較大，擴散過(guò)程中產(chǎn)生晶格張力，固溶度較低，導致硼在硅中擴散速率與固溶速度大幅低于磷，N型硅片硼擴散難度遠大于P型，需要更高的擴散溫度(900-1100攝氏度)和擴散時(shí)間，擴散爐需求較PERC生產(chǎn)線(xiàn)翻倍。同時(shí)目前硼擴常見(jiàn)的硼源主要為三溴化硼( BBr* )以及三氯化硼(BCl* )。其中，三溴化硼擴散的副產(chǎn)物對石英器件損傷嚴重，部分廠(chǎng)商開(kāi)始使用三氯化硼作為硼源，雖然三氯化硼的副產(chǎn)物對石英器件基本無(wú)損傷，但受制于B-CL鍵能較大，擴散均勻性又略差于三溴化硼。(資料來(lái)源：中泰證券、雪球網(wǎng))

于是業(yè)內開(kāi)始嘗試先擴散后激光摻雜的方法，制作選擇發(fā)射極(SE)，但同樣由于固溶度低，需要更高能量，須采用更高功率的激光器，但對功率穩定性的要求極高，過(guò)高會(huì )損傷電池絨面，過(guò)低則達不到既定摻雜效果。

據索比光伏網(wǎng)了解，業(yè)內有經(jīng)驗的企業(yè)會(huì )讓激光企業(yè)在非常小的區域規定速度、深度打孔，來(lái)測試其技術(shù)實(shí)力。

目前業(yè)內主要擴散工藝有一次激光摻雜、二次激光硼擴、絲網(wǎng)印刷等，但后兩者都存在工藝原理上的缺陷，二次硼擴成本、耗能、耗時(shí)“三高”，操作繁瑣，絲網(wǎng)印刷精度不足，因此一次激光摻雜被業(yè)內視為工藝難度最大卻也是最優(yōu)的解決方案。

他山之石，可以攻玉

碳中和進(jìn)程開(kāi)啟之后，新能源賽道吸引了更多優(yōu)秀企業(yè)的目光，許多行業(yè)性難題的解決之道就潛藏其中?！八街?，可以攻玉”。

在進(jìn)入光伏行業(yè)之前，海目星一直在探索如何深度融入新能源行業(yè)，而不僅僅是跟隨行業(yè)發(fā)展去提供設備。海目星董事長(cháng)特助黃健宏指出：“我們會(huì )從底層需求來(lái)了解行業(yè)未來(lái)的需求是什么，會(huì )和客戶(hù)、行業(yè)領(lǐng)軍人物一起去探討，我們就可以更加專(zhuān)注地投入到產(chǎn)業(yè)中。首先海目星在激光方面有很強的應用能力和自主光源，可以覆蓋眾多不同的切割類(lèi)型、焊接、表面處理。應用方面我們自己掌握自動(dòng)化能力，包括精密的裝配、數字化控制、智能制造控制技術(shù)，還有虛擬調試、智能物流線(xiàn)，模擬仿真等。我們還有很強的視覺(jué)自動(dòng)化檢測技術(shù)和核心的卷對卷技術(shù)，有大量的設備是高速卷對卷和激光匹配?！?/p>

“公司有自主研發(fā)生產(chǎn)激光器的能力，激光器已經(jīng)做了10年，10年前紫外納秒激光器已經(jīng)很成熟，國內大部分做的是水冷激光器，而公司做的是風(fēng)冷激光器。包括公司也得到了政府多個(gè)項目獎，體現了公司的技術(shù)實(shí)力。公司的激光器大部分是自產(chǎn)自用，根據客戶(hù)需求，公司激光器可以做獨立設計，這是我們公司獨到的、其他企業(yè)不具備的優(yōu)勢?！焙Ｄ啃枪夥聵I(yè)群總經(jīng)理周宇超在與投資機構交流時(shí)解釋了海目星短時(shí)間攻克光伏行業(yè)難題的原因。

作為光伏業(yè)務(wù)負責人，周宇超畢業(yè)于利物浦大學(xué)，導師是激光應用之父的奠基人William Steen，激光技術(shù)19* 1年誕生，他的導師19* 7年開(kāi)創(chuàng )了激光應用學(xué)科。在接手一次激光摻雜這個(gè)課題后，他發(fā)現這個(gè)困擾光伏行業(yè)的難題對自身的挑戰并不算大，除了多年的激光應用經(jīng)驗之外，海目星還有相似的成熟行業(yè)經(jīng)驗?！斑M(jìn)入光伏的一年前，我們就把半導體、硼、硅、電子等研究明白，通過(guò)直摻物理模型分析，發(fā)現沒(méi)有標準的激光器可以實(shí)現直摻的工藝，后來(lái)，公司通過(guò)熱場(chǎng)分部模型反推激光器工藝參數，然后再通過(guò)參數做出激光器之后再反推激光直摻的效果，發(fā)現和理論接近，包括對損傷做了優(yōu)化處理，所以最后做出了這款產(chǎn)品?！敝苡畛赋?，海目星因為可以自制激光器，在激光的參數設置上占據全球領(lǐng)先地位。

2022年* 月27日，晶科TOPCon電池轉化效率達到2* .7%，比之前的2* .* %提升了0.* 個(gè)百分點(diǎn)。10月1* 日，晶科能源再次發(fā)布公告，經(jīng)中國計量科學(xué)院第三方測試認證，1* 2N型單晶TOPCon全面積電池轉化效率達到2* .1%，再次創(chuàng )造了1* 2及以上尺寸大面積N型單晶鈍化接觸(TOPCon)電池轉化效率新的紀錄，其中應用了SE硼摻雜技術(shù)。

“我們習慣于用激光技術(shù)來(lái)解決問(wèn)題?！敝苡畛f(shuō)，“所以當我們解決激光硼摻雜的問(wèn)題時(shí)，有客戶(hù)感嘆之前都沒(méi)有想過(guò)還能用這種方式，我認為這更多是大家看待問(wèn)題的角度不同，這個(gè)行業(yè)未來(lái)會(huì )變得更多元來(lái)應對更復雜的挑戰。