誰(shuí)能介紹下光刻的工序呢？
印刷廠(chǎng)直印加工●彩頁(yè)1000張只需要69元●名片5元每盒-更多產(chǎn)品印刷報價(jià)?聯(lián)系電話(huà)：138-1621-1622（微信同號）
目的：a、完全蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑（以免在污染后續的離子注入環(huán)境印刷工序介紹，例如DNQ酚醛樹(shù)脂光刻膠中的氮會(huì )引起光刻膠局部爆裂）；b、堅膜，以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護下表面的能力；c、進(jìn)一步增強光刻膠與硅片表面之間的黏附性；d、進(jìn)一步減少駐波效應（StandingWaveEffect）