上海微電子的28nm光刻機現在到底怎么樣了？

目前外面流出來(lái)的消息不太多，不過(guò)上海微電子作為一家公司，如果研發(fā)成功一定會(huì )官宣，現在沒(méi)消息只能說(shuō)至少還沒(méi)有到官宣的階段。

據說(shuō)去年評審沒(méi)通過(guò)，內情不知，一臺DUV光刻機也是非常復雜的，很多東西不是有了理論和設計就能解決的，里面有太多經(jīng)驗值，這個(gè)只能靠時(shí)間積累，沒(méi)有捷徑！

希望盡快能有好消息，也有可能正在試車(chē)中，不過(guò)還有問(wèn)題，沒(méi)有達到商用狀態(tài)，總之，希望在不久將來(lái)能看到上海微電子DUV光刻機面世！