半導電薄膜有哪些
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半導電薄膜只有半絕緣多晶硅薄膜。
半導體薄膜主要有外延生長(cháng)的Si單晶薄膜和CVD生長(cháng)的摻雜多晶硅薄膜、半絕緣多晶硅薄膜。
絕緣體薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。
金屬薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。
工藝中用到的薄膜技術(shù)光刻膠薄膜。
標簽: 上海功能薄膜
