薄膜集成電路，什么是薄膜集成電路

與此相對的是厚膜集成電路。它是將能實(shí)現某種功能的整個(gè)電路的晶體管、二極管、電阻、電容和電感等元件以及它們之間的互連引線(xiàn)，全部用厚度在1微米以下的金屬、半導體、金屬氧化物、多種金屬混合相、合金或絕緣介質(zhì)薄膜，并通過(guò)真空蒸發(fā)、濺射和電鍍等工藝制成的集成電路。薄膜混合集成電路適用于各種電路，特別是要求精度高、穩定性能好的模擬電路。與其他集成電路相比，它更適合于微波電路。