SITIME晶振生產(chǎn)工藝流程圖

　　SiTime晶振采用全硅的MEMS技術(shù)，由兩個(gè)芯片堆棧起來(lái)，下方是CMOS PLL驅動(dòng)芯片，上方則是MEMS諧振器，以標準QFN IC封裝方式完成。封裝完成之后，進(jìn)行激光打標環(huán)節，黑色晶振表面一般打標都是B0*CG，1-110MHZ任一頻點(diǎn)均可編程，精確到小數點(diǎn)后六位；每個(gè)頻點(diǎn)，均可提供*0*0、*0*2、*22*、2*20封裝；未燒錄之前，硅晶振屬于空白片，用空白片進(jìn)行燒錄，根據客戶(hù)的需要不同，燒錄的程序參數也不同，再次強調一次，如果不小心燒錄參數錄入錯誤或者個(gè)別參數不同，相當于該硅晶振空白片就報廢了。所以客戶(hù)要求參數要仔細，工作人員也要反復核實(shí)，燒錄分為人工燒錄和機器燒錄，國內人工燒錄的很多，人工燒錄比較麻煩，速度慢，易出錯。揚興科技作為SITIME晶振一級代理商，擁有國內首家MEMS硅晶振生產(chǎn)機器，亦是中國首家可編程晶振廠(chǎng)家；一小時(shí)量產(chǎn)千片級別以上的有源晶振，大批量1-2天快速交付。（相關(guān)閱讀可以查看YXC揚興官網(wǎng)《揚興科技成為國內首家擁有快速燒錄SITIME晶振的代理廠(chǎng)家》

　　MEMS技術(shù)可將機械構件、光學(xué)系統、驅動(dòng)部件、電控系統集成為一個(gè)整體單元的微型系統。這種微電子機械系統不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令采取行動(dòng)。它用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù))相結合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價(jià)格低廉、微型化的傳感器、執行器、驅動(dòng)器和微系統。

　　sitime晶振生產(chǎn)流程圖

　　SITIME MEMS硅晶振是由MEMS硅晶圓與CMOS晶圓上下疊加而成，而CMOS晶圓則包括了NON Memory、PLL 鎖相環(huán)電路、起振電路與溫補電路。

　　MEMS振蕩器工藝流程圖

　　上面六幅圖揭示了整個(gè)SITIME晶振生產(chǎn)工藝流程，SITIME MEMS 硅晶振采用上下兩個(gè)晶圓疊加的方式，外部用 IC 通用的塑料做為封裝。不僅大大減少的石英晶振的工序，而且更全面提升了產(chǎn)品性能。（相關(guān)閱讀可以查看YXC揚興官網(wǎng)《MEMS振蕩器與傳統石英晶振的比較優(yōu)勢》）