光刻顯影液四甲基氫氧化銨怎么配

通過(guò)混合一定比例的三甲胺，三乙胺，和碳酸二甲酯，合成四甲基銨和三乙基單甲基銨碳酸單甲酯混合物中間體。然后經(jīng)過(guò)水解，純化，電解工序得到四甲基氫氧化銨和三乙基單甲基氫氧化銨混合銨顯影液溶液。同時(shí)也可通過(guò)加入碳酸二乙酯得到更多種類(lèi)烷基結構的烷基氫氧化銨水溶液。所得到的不同鏈長(cháng)結構的烷基氫氧化銨混合銨顯影液具有生產(chǎn)價(jià)格低，工藝簡(jiǎn)單，金屬含量低，適合細精度窄線(xiàn)寬要求的短波長(cháng)光源工藝的顯影需求。